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A²ECF

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A²ECF V4  est un framework logiciel de supervision d'équipement avec ou sans gestion de chargement robotisé par 'EFEM (Equipement Front End Module)


Conçu selon le standard SEMI E95 relatif aux interfaces graphiques, ce framework propose:

  • La gestion multi-utilisateur de l'interface avec affectation des droits
  • La génération automatique de traces
  • L'enregistrement des actions opérateurs
  • La gestion de périphériques matériels pour EFEM:
    • Manipulateurs de wafer robotisés (pour les marques supportées, nous consulter)
    • Pré-aligneurs
    • Load Ports et FOUP Openers (pour les marques supportées, nous consulter)
    • Lecteur de scribe
  • L'implémentation de schedulers pour l'ordonnancement des actions
  • La remontée d'information vers la supervision usine (Host) et le contrôle à distance via une librairie de communication SECS/GEM et PV2
Télécharger la plaquette.


 
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